併用されることの多い真空ポンプ

真空ポンプは単独で用いられることもありますが、複数種類のポンプが併用されることも多くあります。また、単独のポンプであっても、中身は複数種類のポンプの組み合わせであることも珍しくありません。

中真空以上の真空度が必要とされる場合、まずはロータリーポンプなどのような排気速度が高くて到達真空度の低いポンプで粗引きをします。その後、粗引き用ポンプを止め、または動作させたままでターボ分子ポンプや油拡散ポンプで中高真空まで引きます。さらに真空度を上げる場合には、ゲッタ・イオンポンプを動作させます。

ロータリーポンプの中には、その補助ポンプとしてメカニカルブースタポンプが内蔵されているものがあり、また、これをロータリーポンプの補助ポンプとして外付けして用いることが良くあります。

ゲッタ・イオンポンプはチタンイオンの化学的活性の高さを用いた超高真空用ポンプですが、これにはチタンの蒸発とスパッタリングの両方のチタンイオンの発生機構を備えているものがあり、これも広い意味では複数のポンプの併用であると言えます。

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